在预热过程中，氮化后的零件具有必要的力学性能，消除了加工过程中的内应力，减少了辉光离子氮化炉渗氮过程中的变形，离子氮化炉为了获得良好的氮化物层结构，有一个预热过程，许多零件在渗氮前需要不同的预热处理，预热工艺对渗氮参数的要求，预热后，下一道工序的加热温度需要比渗氮温度高20度，否则零件在渗氮过程中会变形，变形量无法控制，我们常用的预热工艺包括回火、淬火、回火、正火和退火，淬火和回火是钢结构常用的预热工艺，淬火和回火的回火温度越高，工件的硬度越低，因此，回火温度应根据基体性能和渗层性能的要求来确定。

　　淬火和回火引起的脱碳对渗碳层的硬度和脆性有很大影响，因此工件在淬火和回火前应留有足够的余量，以便在加工过程中完全去除脱碳层，对于渗氮后要求较低的工件，还应采取稳定化处理和措施，处理温度应低于淬火和回火温度，高于渗氮温度，等离子渗氮后，零件尺寸一般略有增加，但小于气体渗氮。

　　等离子氮化炉后，零件尺寸一般略有增加，但小于气体渗氮，在渗氮零件的拐角处，由于相邻两个表面同时渗氮，尺寸膨胀比其他零件更严重，称为边缘突出，这对接触面的承载能力有不良影响。